GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-15 17:41:32
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基本信息
| 标准名称： | 微米级长度的扫描电镜测量方法 |
| 英文名称： | Micron grade lenght measurement by SEM |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | 计量学和测量、物理现象 >> 长度和角度测量 >> 长度和角度测量综合 |
| 替代情况： | 被GB/T 16594-2008代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1996-01-01 |
| 实施日期： | 1997-04-01 |
| 首发日期： | 1996-11-04 |
| 作废日期： | 2009-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 上海市测试技术研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-10 |
| 页数： | 平装16开， 页数：6， 字数：6千字 |
| 书号： | 155066.1-13653 |
适用范围
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。
前言
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引用标准
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所属分类： 仪器 仪表 光学仪器 电子光学与其他物理光学仪器 计量学和测量 物理现象 长度和角度测量 长度和角度测量综合
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